承載方式:

機械承載或氣浮軸承技術(shù)

臺面直徑:

根據(jù)客戶要求定做

承載能力:

根據(jù)客戶要求定做

驅(qū)動方式:

手動; 扭矩電機

測量系統(tǒng):

Heidenhain, RENISHAW等品牌旋轉(zhuǎn)編碼器

最高定位精度+/-0.5”

平移-傾斜調(diào)節(jié)臺:

平移調(diào)節(jié)范圍+/-2mm,精度+/-1.8um; 傾斜調(diào)節(jié)范圍+/-0.8°,精度<5”

調(diào)節(jié)方式: 機械手動調(diào)節(jié); 氣動手動調(diào)節(jié),真空鎖緊