承載方式: |
機械承載或氣浮軸承技術(shù) |
臺面直徑: |
根據(jù)客戶要求定做 |
承載能力: |
根據(jù)客戶要求定做 |
驅(qū)動方式: |
手動; 扭矩電機 |
測量系統(tǒng): |
Heidenhain, RENISHAW等品牌旋轉(zhuǎn)編碼器 最高定位精度+/-0.5” |
平移-傾斜調(diào)節(jié)臺: 平移調(diào)節(jié)范圍+/-2mm,精度+/-1.8um; 傾斜調(diào)節(jié)范圍+/-0.8°,精度<5” 調(diào)節(jié)方式: 機械手動調(diào)節(jié); 氣動手動調(diào)節(jié),真空鎖緊 |
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