– 測(cè)量最大口徑300mm
– 測(cè)量參考物鏡精度:λ/10
– 大理石龍門(mén)架結(jié)構(gòu),鋁合金框架保護(hù)罩
– 鋁合金穩(wěn)固底座,主動(dòng)氣浮隔振系統(tǒng)
– 易裝卸被測(cè)量零件:氣浮導(dǎo)軌+可調(diào)傾斜臺(tái)
– 相移成像+全自動(dòng)軟件測(cè)量分析,或靜態(tài)光圈分析軟件
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