– 測(cè)量最大口徑100mm
– 測(cè)量參考物鏡精度:λ/10或λ/20
– 結(jié)構(gòu)緊湊,所占空間小
– Z軸手動(dòng)移動(dòng)測(cè)量,行程500mm,帶有精密水平與傾斜調(diào)節(jié)
– 高精密Z軸測(cè)量光柵尺,用于曲率半徑測(cè)量(可選)
– 相移成像+全自動(dòng)軟件測(cè)量分析,或靜態(tài)光圈分析軟件
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激光干涉儀系列

  • 4英寸球面/平面激光干涉儀
4英寸球面/平面激光干涉儀

4英寸球面/平面激光干涉儀

  • – 斐索型激光干涉儀,球面或平面測(cè)量
    – 測(cè)量最大口徑100mm
    – 測(cè)量參考物鏡精度:λ/10或λ/20
    – 結(jié)構(gòu)緊湊,所占空間小
    – Z軸手動(dòng)移動(dòng)測(cè)量,行程500mm,帶有精密水平與傾斜調(diào)節(jié)
    – 高精密Z軸測(cè)量光柵尺,用于曲率半徑測(cè)量(可選)
    – 相移成像+全自動(dòng)軟件測(cè)量分析,或靜態(tài)光圈分析軟件