– 測量最大口徑150mm
– 測量參考物鏡精度:λ/20
– 三點(diǎn)鋁合金支柱支撐結(jié)構(gòu),鋁合金框架保護(hù)罩
– 鋁合金穩(wěn)固底座,主動氣浮隔振系統(tǒng)
– 易裝卸被測量零件:氣浮導(dǎo)軌+可調(diào)傾斜臺
– 相移成像+全自動軟件測量分析,或靜態(tài)光圈分析軟件
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